非平衡磁控溅射系统的研究被引量：2

Research of Unbalanced Magnetron Sputtering System

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摘要介绍了非平衡磁控溅射系统的原理、试验性能情况。

作者何万强雷旭徐新乐

机构地区西安工业学院兵器工业新技术推广所

出处《新技术新工艺》北大核心 2002年第6期19-20,共2页 New Technology & New Process

关键词非平衡磁控溅射系统等离子体磁控溅射镀膜机 unbalanced magnetron, sputtering, application

参考文献2

1杨武保.磁控溅射镀膜技术最新进展及发展趋势预测[J].石油机械,2005,33(6):73-76. 被引量：22
2白力静,肖继明,蒋百灵,张国君,梁戈.磁控溅射CrTiAlN涂层钻头的制备及其钻削性能研究[J].表面技术,2005,34(4):21-23. 被引量：7
3白力静,蒋百灵,文晓斌,张国君,何家文.热氧化温度对磁控溅射CrTiAlN梯度镀层表面形貌与组织结构的影响[J].材料热处理学报,2005,26(4):111-114. 被引量：22
4杨文茂,刘艳文,徐禄祥,冷永祥,黄楠.溅射沉积技术的发展及其现状[J].真空科学与技术学报,2005,25(3):204-210. 被引量：46
5徐万劲.磁控溅射技术进展及应用(上)[J].现代仪器,2005,11(5):1-5. 被引量：50
6徐万劲.磁控溅射技术进展及应用(下)[J].现代仪器,2005,11(6):5-10. 被引量：16
7董骐,范毓殿.非平衡磁控溅射及其应用[J].真空科学与技术,1996,16(1):51-57. 被引量：24
8应春,沈杰,唐沪军,杨锡良,章壮健.高效率平面磁控溅射器的研制[J].真空科学与技术,1996,16(6):402-408. 被引量：4
9Window B, Savvides N. Unbalanced DC magnetrons as sources of high ion fluxes [J]. Vacuum Science Technology, 1986, (2A):453-456.
10Savvides N, Window B. Unbalanced magnetron ion-assisted deposition and property modification of thin films [J]. Vacuum Science Technology, 1986, 4(2A):504-508.

1王德山,陈尤旭.火灾自动环保型闭门器表面磁控溅射镀膜关键技术的研究[J].现代机械,2020,0(1):76-79. 被引量：2
2李坤,高岗,杨磊,夏菲,孙春强,滕祥青,张宇民,朱嘉琦.HiPIMS的放电特性及其对薄膜结构和性能的调控[J].中国表面工程,2022,35(5):42-55. 被引量：1
3孙士阳,柯龙,车轩墨,徐平平,谭心.金刚石纳米线尺寸对表面性能的影响[J].功能材料与器件学报,2023(1):28-32.
4肖继明,白力静,李言,蒋百灵,吴玉生.磁控溅射CrAlTiN涂层高速钢麻花钻的钻削试验研究[J].西安理工大学学报,2006,22(2):119-122. 被引量：4
5尹清军,蒋百灵,陈迪春,张国君.磁控溅射类石墨镀层的微观组织观察与分析[J].中国表面工程,2007,20(2):42-46. 被引量：2
6宋娟.溅射法制备梯度薄膜研究进展[J].盐城工学院学报（自然科学版）,2009,22(3):24-27.
7胡鹏飞,张华.刀具硬质涂层的发展现状及展望[J].工具技术,2009,43(11):29-33. 被引量：4
8杨林生,王君,陈长琦.硬质薄膜技术的最新发展[J].真空,2009,46(6):35-39. 被引量：12
9孟灵灵,黄新民,王春霞.金属化纺织材料制备技术[J].纺织科技进展,2009(6):7-8. 被引量：7
10孟灵灵,黄新民,王春霞.溅射镀膜技术在织物金属化中应用[J].天津纺织科技,2009,47(4):25-27. 被引量：7

1邹海生,曹喜彪,黄耘.上海大众FA355轮毂热处理工艺的改进[J].特种铸造及有色合金,2013,33(8):776-777.
2韩亮,赵玉清,张海波.非平衡磁控溅射系统磁场的半解析法[J].物理学报,2008,57(2):996-1000.
3姚泽恒,董夏鑫,龚明辉,杨军.沥青混合料纳米压痕技术研究方法综述[J].石油沥青,2015,29(6):53-57. 被引量：1
4郑伟涛,丁涛,李海波,陈岗,王煜明.磁控溅射参数对CN_x薄膜成分、化学结合状态和硬度的影响[J].材料科学与工艺,1997,5(1):8-11. 被引量：4
5牟宗信,李国卿,黄开玉.同轴磁场对非平衡磁控溅射系统放电特性的影响[J].核聚变与等离子体物理,2004,24(2):141-146. 被引量：1
6牟宗信,李国卿,关秉羽.对靶非平衡磁控溅射系统平面探针诊断[J].真空,2002,39(5):57-59. 被引量：1
7牟宗信,李国卿,黄开玉,车德良.非平衡磁控溅射系统的离子束流控制[J].核聚变与等离子体物理,2004,24(3):225-230.
8牟宗信,关秉羽,李国卿,宋林峰.非平衡磁控溅射中调制磁场的作用[J].真空,2002,39(3):27-29. 被引量：3
9金杰,李刘合,舒祥东.半闭环磁场中磁控溅射镀膜工艺对TiN硬度的影响[J].航天制造技术,2006(3):12-13.
10马东来.机器人系统在溅射镀膜设备中的应用[J].真空,2008,45(6):66-69. 被引量：1

新技术新工艺

2002年第6期

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