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电解液电反射法研究GaAs/GaAlAs多层结构材料
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1
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摘要
在研究GaAs和GaAlAs电解液电反射谱的基础上,把电解液电反射方法与电化学可控阳极溶解技术结合起来,对GaAs/GaAlAs多层结构材料进行深度剖面分析。根据阳极溶解过程中电反射谱的变化,研究了多层结构材料的界面性质、p-n结位置和纵向铝组分分布。
作者
王周成
彭瑞伍
钱佑华
机构地区
中国科学院福建物质结构研究所
中国科学院上海冶金研究所
复旦大学
出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1991年第3期184-187,共4页
Chinese Journal of Rare Metals
关键词
GAAS/GAALAS
半导体
电解液电反射
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
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稀有金属
1991年 第3期
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