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电解液电反射法研究GaAs/GaAlAs多层结构材料 被引量:1

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摘要 在研究GaAs和GaAlAs电解液电反射谱的基础上,把电解液电反射方法与电化学可控阳极溶解技术结合起来,对GaAs/GaAlAs多层结构材料进行深度剖面分析。根据阳极溶解过程中电反射谱的变化,研究了多层结构材料的界面性质、p-n结位置和纵向铝组分分布。
出处 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第3期184-187,共4页 Chinese Journal of Rare Metals
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