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PVD镀膜附着强度动态拉伸法分析

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摘要 本文对评价PVD(物理气相沉积)镀膜与基材附着强度(亦称结合力)的动态拉伸法进行了分析;根据材料力学原理提出用应变能法来估算其镀膜的附着强度,并对均匀应力和集中应力下的板状拉伸试样上的镀膜在动态拉伸过程中剪切应变能进行了推算,其结果:在镀膜杨氏模量相同且与基材杨氏模量相差较大、试样几何尺寸相同的条件下,镀膜在动态拉伸过程中的总剪切应变能与试样拉伸过程中的形变量△L成正比。此结果与划痕法进行了比较,得到一致的结果。
出处 《物理测试》 CAS 1991年第2期16-20,共5页 Physics Examination and Testing
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