等离子体化学气相沉积TjN高温耐磨性及磨损机理的研究

下载PDF

导出

摘要用PCVD法在高速钢基体上沉积TiN,针-盘试验法研究了涂层材料的高温耐磨性。结果表明:HSS+PCVD TiN具有好的高温耐磨性。磨损机理的研究表明:涂层失效主要由机械作用和环境因素共同作用所致。表面氧化物的形成提高耐磨性,其形成机制是TiO的直接氧化。

作者张德胜吴大兴

机构地区西南交通大学

出处《物理测试》 CAS 1991年第2期25-28,31,共5页 Physics Examination and Testing

关键词等离子体化学气相沉积高速钢

1刘国纯,卞恒正.等离子体化学气相沉积（PCVD）和CVD涂层硬质合金研究[J].硬质合金,1991,8(2):20-23. 被引量：2
2陈湘仁,吕文彩,姜学军.等离子体化学气相沉积TiN中参数的研究[J].核聚变与等离子体物理,1992,12(3):182-185.
3潘应君,陈淑花,张细菊,吴新杰.用PCVD法在1Cr18Ni9不锈钢表面沉积AlN薄膜的研究[J].金属热处理,2004,29(12):20-22. 被引量：1
4任志华,彭红瑞.等离子体化学气相沉积TiN涂层刀具的应用研究[J].青岛化工学院学报（自然科学版）,1995,16(4):345-349. 被引量：7
5白辰东,陈华,何家文.等离子体化学气相沉积设备改进及其效果[J].中国表面工程,1993,10(1):12-15. 被引量：1
6《气相沉积应用技术》出版[J].工具技术,2007,41(1):119-119.
7常志梁,董良,张金旺,杨川,吴大兴,陶佑卿.铝型材挤压模具等离子体化学气相沉积TiN工艺的试验研究[J].热加工工艺,1994,23(3):44-45. 被引量：1
8赵程,彭红瑞,李世直.等离子体化学气相沉积Ti-N-C膜的研究[J].金属学报,1993,29(1). 被引量：7
9张学农,董元(立章),熊成烈,徐杏香,张洁敏,蒋邵志.等离子体化学气相沉积超硬薄膜[J].上海金属,1992,14(5):12-16.
10赵程,彭红瑞,谢广文,李世直.等离子体化学气相沉积TiN涂层的后热处理技术研究[J].真空科学与技术,2000,20(5):366-369. 被引量：9

物理测试

1991年第2期

浏览历史

内容加载中请稍等...