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哈特曼-夏克传感器在非球面加工中的应用 被引量:21

Application of Hartmann-Shack Sensor in Aspheric Process
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摘要 论述了哈特曼夏克传感器的测量原理 ,对它的测量精度进行了标定。同时还介绍了哈特曼夏克传感器在光学车间实际测量大口径非球面系统的情况 。 The principle of a Hartmann-Shack sensor is introduced. The influence factors for measured accuracy are analyzed. The measurement of using Hartmann-Shack sensor for aspherical system in optics workshop is described. It shows that Hartmann-Shack sensor is an effective means for optics workshop measurement.
出处 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期491-494,共4页 Acta Optica Sinica
基金 国家 8 6 3高技术资助课题
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参考文献1

共引文献22

同被引文献209

引证文献21

二级引证文献152

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