摘要
提出了一种应用晶体光学原理的新型物体几何形貌检测方法 ,介绍了新方法涉及到的晶体偏光干涉的原理 ,以及基于这个原理的形貌信号检测方法 ,并通过实验得到新方法的测量精度约为 5 μm ,测量范围约为 7mm 。
A new method that make use of the theory and techniques of crystal optics for geometric profilometry is presented. The theory of the conoscopic interference of crystal optics related with the new method is introduced, and the application of the new method in geometric profilometry is studied and some experimental results are given.
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期452-455,共4页
Acta Optica Sinica
基金
国家自然科学基金 (5 0 0 75 0 6 4 )资助课题
