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热处理对溶胶-凝胶TiO_2薄膜的特性影响 被引量:6

Effect of Heat Treatment on Properties of TiO_2 Films Prepared with Sol-gel Method
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摘要 研究了热处理对溶胶 -凝胶法制备的TiO2 薄膜材料的晶体结构、致密化以及光学特性的影响 .结果表明TiO2 溶胶颗粒的最低结晶化温度为 40 0℃ ,晶体尺寸随着热处理温度的升高而增大 ;TiO2 薄膜的厚度随着热处理温度的升高从 12 0nm减小到 47nm ,相应的折射率则从 1.85增加到 2 .3;同时 ,TiO2 薄膜的孔洞率随着热处理温度的升高从 0 .2 3降低到 0 .12 2 ,密度则从 2 .83g·cm-3 增加到 3.73g·cm-3 . We present an investigation of the effect of heat treatment on density,crystal structure,optical properties of TiO 2 films prepared with the sol-gel method.The results show that TiO 2 gel begins to crystallize at around 400 ℃.The crystallite size increases with the increase of temperature.The refractive index increases with the increase of temperature and ranges from 1.85 to 2.3,while the thickness decreases and ranges from 120 nm to 47 nm.The density increases with the increase of temperature and ranges from 2.83 g·cm -3to 3.73 g·cm -3.The porosity decreases with the increase of temperature and ranges from 0.23 to 0.122.
出处 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1327-1330,共4页 Journal of Tongji University:Natural Science
基金 国家自然科学基金资助项目 ( 6 99780 17 5 980 2 0 0 7) 上海市教委重点学科资助项目 (JW99-TJ-0 3)
  • 相关文献

参考文献5

  • 1Xia B,Mater Sci Eng.B,1999年,57卷,150页
  • 2Cinnsealch R,Sol Energy Mater Sol Cells,1999年,57卷,107页
  • 3Li Y,Sol Energy Mater Sol Cells,1999年,56卷,167页
  • 4Chen C H,Thin Solid Films,1999年,342卷,35页
  • 5Bae D S,Solid State Ionics,1998年,109卷,239页

同被引文献55

引证文献6

二级引证文献24

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