在石英玻璃表面制成碳化硅膜的方法

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摘要本发明是关于在石英玻璃表面制成碳化硅膜的方法,众所周知,碳化硅是非常硬而坚固的物质,其薄膜也非常致密,无论化学强度和物理强度都很高,故用来作保护膜.以前,碳化硅膜制作方法是使SiCl_4.

作者罗铁庄

出处《玻璃》 1989年第6期43-43,共1页 Glass

关键词石英玻璃碳化硅膜玻璃表面

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玻璃

1989年第6期

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