以氧代氯精炼工业硅的工艺研究
被引量：1
Technical Study on Silicon Metal Refining with Oxygen Instead of Chlorine
摘要
用底吹氧的方法代替传统的氯化精炼法生产高纯工业硅 ,不增加运行成本 ,无环境污染 ,可改善产品质量。
出处
《新技术新工艺》
北大核心
2001年第6期37-38,共2页
New Technology & New Process
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