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陶瓷氧化铝—金刚石薄膜复合材料的研究
被引量:
1
Study on composites of ceramic materials Al2O3 / diamond film
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摘要
以有机高分子化合物酒精和氢气为反应气体,用热丝CVD法在Al2O3陶瓷基片上沉积出 金刚石薄膜,用拉曼光谱,X射线衍射等方法进行了表征。探索了碳源浓度、热丝温度、基片温度 和预处理工艺对金刚石薄膜结构和性能的影响,并且得到了最佳的工艺条件。探讨了金刚石在 Al2O3衬底上的成核和生长机理。
作者
黄晓琴
夏义本
莫要武
王瑜
居建华
王鸿
机构地区
上海大学材料科学与工程学院
College of Materials Science & Engineering
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2001年第3期303-306,共4页
Journal of Functional Materials and Devices
关键词
金刚石薄膜
热丝CVD
拉曼光谱
X射线衍射
氧化铝陶瓷
复合材料
分类号
TB332 [一般工业技术—材料科学与工程]
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功能材料与器件学报
2001年 第3期
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