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陶瓷氧化铝—金刚石薄膜复合材料的研究 被引量:1

Study on composites of ceramic materials Al2O3 / diamond film
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摘要 以有机高分子化合物酒精和氢气为反应气体,用热丝CVD法在Al2O3陶瓷基片上沉积出 金刚石薄膜,用拉曼光谱,X射线衍射等方法进行了表征。探索了碳源浓度、热丝温度、基片温度 和预处理工艺对金刚石薄膜结构和性能的影响,并且得到了最佳的工艺条件。探讨了金刚石在 Al2O3衬底上的成核和生长机理。
出处 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2001年第3期303-306,共4页 Journal of Functional Materials and Devices
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