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气相氟化氢与二氧化硅反应的研究 被引量:2

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摘要 氢氟酸(HF的水济液)和SiO_2的反应是一个非常重要的反应,它很容易进行,其结果是生成SiF_4和H_2O.但我们和其他人先后发现在高于100℃时气相HF(包括无水HF和氢氟酸蒸气)
出处 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第6期477-478,共2页 Chinese Science Bulletin
基金 国家自然科学基金
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