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气相氟化氢与二氧化硅反应的研究
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2
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摘要
氢氟酸(HF的水济液)和SiO_2的反应是一个非常重要的反应,它很容易进行,其结果是生成SiF_4和H_2O.但我们和其他人先后发现在高于100℃时气相HF(包括无水HF和氢氟酸蒸气)
作者
洪啸吟
李钟哲
郭永宁
董桂荣
机构地区
清华大学化学系
北京市化工研究院
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1991年第6期477-478,共2页
Chinese Science Bulletin
基金
国家自然科学基金
关键词
气相
氟化氢
二氧化硅
分类号
O613.41 [理学—无机化学]
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科学通报
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