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HCD法Ti_xC_(1-x)涂层化学组成与性能研究

Composition and Mechanical Properties of TixC_(1-x)Film by HCD Method
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摘要 本文采用空心阴极离子镀设备(HCD),成功地在 Cr12MoV 模具钢上进行了 TiC 的镀膜实验。经电子探针(EPMA)、透射电镜(TEM)及扫描电镜(SFM)分析,结果表明,涂层的显微组织为柱状纤维结构。在[C]/[Ti]为211时,Ti_xC_(1-x)涂层硬度达峰值,为 HM2967±300。同时对涂层的硬度。 In this paper,we introduce the composition and mechanical properties of TiC film on Cr12MoV steel coated by using HCD ion plating equipment.The results of investigation and analysis carried out by EPMA,TEM and SEM show that microstructures of film are column fiber-like structures.When the ratio of C/Ti is 2,the hardness of the film achieves maximum,i.e.HM 2967±300.The relations between the hardness or wear resistance and the composition also have been investigated.
出处 《哈尔滨科学技术大学学报》 1989年第4期69-73,共5页
关键词 HCD法 TIC涂层 刀具 化学组成 Ion plating by HCD method TiC film Cr12Mov steel
  • 相关文献

参考文献2

  • 1相瑜才.磁场在直流三极溅射沉积TiC中的应用[J]固体润滑,1983(03).
  • 2严天极.真空溅射沉积碳化钛的工艺参数和应用[J]真空科学与技术,1981(04).

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