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Ba_(0.9)Sr_(0.1)TiO_3薄膜的椭偏光谱研究 被引量:8

Spectroscopic Ellipsometry Studies of Ba_(0.9)Sr_(0.1)Ti0_3 Thin Films
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摘要 用椭偏光谱仪首次在光子能量为2.1~5.2eV的范围内,测量了不同热处理温度下Ba0.9Sr0.1TiO3(BST)薄膜的椭偏光谱,建立适当的拟合模型,并用Cauchy色散模型描述BST薄膜的光学性质,用最优化法获得了所有样品的光学常数(折射率η和消光系数κ)谱及禁带能Eg.比较这些结果,初步得到了BST薄膜的折射率η、消光系数κ和禁带能Eg随退火温度变化的变化规律. Ellipsometric spectra of Ba0.9Sr0.1TiO3 (BST) thin films with various annealing temperatures were measured in the range of photon energy from 2.1 to 5.2eV. Constructing appropriate fitting models and describing optical properties of the BST with Cauchy dispersion model, their optical constants (refractive index n and extinction coefficient k) spectra and band gap E-g were determined by means of an optimization. Compared these results, we obtained the variation of the refractive index n, the extinction coefficient k and the band gap E-g with annealing temperatures.
出处 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期305-310,共6页 Journal of Inorganic Materials
关键词 椭偏光谱 光学常数谱 BST薄膜 陶瓷薄膜 光学性质 spectroscopic ellipsometry optical constant spectra BST films
  • 相关文献

参考文献6

  • 1Tian Huyong,J Mater Sci Lett,2000年,31期
  • 2Tcheliebou F,Thin Solid Films,1997年,305卷,30页
  • 3莫党,固体光学,1996年,136页
  • 4Ousi Benomar W,J Mater Res,1994年,9卷,970页
  • 5Zhuang J,Opt Commun,1991年,82卷,69页
  • 6Wong C,Handbook of Optical Constants of Solids Ⅱ,1991年,789页

同被引文献70

引证文献8

二级引证文献25

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