摘要
为了检验对激光干涉仪测量精度有很大影响的空气折射率测量系统的测试性能，提出一种可用于基于Edlen公式的空气折射率测量系统的校准方法，并且设计了专门的校准装置，该装置主要由温度、气压以及湿度测量系统组成。实验证明：取包含因子％=2时，温度在（5—40）℃区间，测量不确定度u优于0．02℃；气压在（66～105）kPa区间，U=18Pa；湿度在（10—90）％RH区间，U=2．0％RH，等效于整个系统对应的空气折射率测量的相对不确定度优于1×10^-7。
To verify the performance of refractive index of air measurement system, which has a great influence for accuracy of laser interferometer, one kind of calibration approach is presented for the refractive index of air measurement system of laser interferometer. One special calibration setup is designed which consists of temperature, air pressure and humidity sensors and it is based on Edlen formula to measure the refractive index of air indirectly. Experiment shows that the temperature uncertainty is less than 0. 02℃ in （5 - 40）℃, uncertainty of air pressure is 18 Pa in （60 - 110） kPa and uncertainty of air humidity is 2.0% RH in （ 10 - 90） % RH. The relative expend uncertainty of whole system for refractive index of air is 1×10^-7, where cover factor k = 2.
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2014年第3期210-215,共6页
Acta Metrologica Sinica
基金
基金项目：国家科技重大专项（2011ZX04002-062）,浙江省重中之重学科（机械设计及理论）及浙江理工大学重点实验室开放基金（ZSTUMD2012A005）
关键词
计量学
空气折射率
激光干涉
测量不确定度
Metrology
Refractive index of air
Laser interferometer
Measure uncertainty
