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几种表面分析样品预处理装置

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摘要简要介绍了我国七十年代中期以来从国外引进的多种大型表面分析仪器电子能谱仪的重要配套设备多功能样品预处理装置及国内同类产品的情况.对各种装置的结构、功能及特点作了简要叙述和比较,并预测了今后的发展趋势.

作者张延坤

机构地区中国科学院沈阳科学仪器厂

出处《分析仪器》 CAS 1991年第4期62-66,共5页 Analytical Instrumentation

关键词电子能谱仪表面分析样品预处理

分类号 TH838 [机械工程—精密仪器及机械]

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分析仪器

1991年第4期

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