扫描电镜故障检修二例
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1李荣玉,陆家和,张志远.双极性高压稳压电源及高稳定偏转放大器[J].微细加工技术,1989(1):34-36.
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2张淑兰.DJ—2可变矩形电子束曝光系统偏转放大器[J].LSI制造与测试,1989,10(4):14-19. 被引量:49
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3姚作宾,张玉林,魏守水.高速偏放系统噪声抑制技术的研究[J].微细加工技术,2008(2):5-7.
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4罗武庭,顾文琪.可变矩形电子束曝光系统偏转放大器极性的确定和测试...[J].LSI制造与测试,1991,12(1):21-26.
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5白文.可变矩形电子束曝光系统中的变形控制偏转放大器[J].电工电能新技术,1990,9(1):52-57.
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6尹明,钟玲.消除高速运算放大器AD827的失调电压[J].国外电子元器件,1999(5):32-33.
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7尹明,张玉林.电子束扫描系统的动态快速补偿[J].微细加工技术,1998(3):37-41. 被引量:3
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8商涛,薛虹.图形发生器单元圆生成算法及填充策略[J].微细加工技术,2003(2):6-11. 被引量:2
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