极高和极低剂量Co注入Si退火性能的穆斯堡尔谱研究
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6应用材料公司Vantage RTP系统全球出货量突破500台[J].中国新通信,2010,12(23):61-61.
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8卓壮,邵宗书,陈军,王继扬,陈晓军,王庆,吴仲康.苯甲酸质子交换LiTaO_3波导及其退火性能的研究[J].中国激光,1994,21(6):517-521. 被引量：4
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10余明斌,何宇亮,刘洪涛,罗晋生.纳米硅薄膜退火特性[J].物理学报,1995,44(4):634-639. 被引量：11
