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用激光刷涂半导体掩模母板

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摘要用八束激光刷涂半导体掩模母板可比原来的工艺快五倍。每次可以扫描2mm宽的条,分裂激光束产生甚大规模集成电路所有元件的复杂几何图形。最后,由激光产生的数据印在母板上,成为放大铬-石英母板图形,用来制造掩模,生产各种芯片。

作者宗忠烈张肇平

出处《国外激光》 CSCD 1989年第2期35-35,共1页

关键词激光半导体掩模母板

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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国外激光

1989年第2期

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