期刊文献+

单晶炉热场加热器设计探究 被引量:1

在线阅读 下载PDF
导出
摘要 本文通过对单晶炉热场加热器进行探究,优化加热器的结构与参数,以期设计出更加合理与节能的加热器,延长加热器寿命,降低单晶炉能耗。
作者 刘威
出处 《科技风》 2013年第11期14-14,共1页
  • 相关文献

参考文献4

  • 1胡洁微,任国臣,陈晓英.单晶炉温度控制系统中提高温度测量精度方法[J].国外电子测量技术,2006,25(10):50-52. 被引量:3
  • 2杨模诗;朱家淇.无线电通用材料[M]{H}北京:国防工业出版社,1983.
  • 3余思明.半导体硅材料学[M]{H}长沙:中南工业大学出版社,1992.
  • 4郭同生.电子工业生产技术手册.半导体与集成电路卷,半导体材料篇半导体与集成电路卷,半导体材料篇[M].{H}北京:国防工业出版社,1989.

二级参考文献3

共引文献2

同被引文献10

引证文献1

二级引证文献3

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部