摘要
本文介绍了我们研制数字SPM仪器时在DSP芯片选型、SPMDSP插卡设计、开发工具、DSP软件及其基本算法方面的考虑和解决方案,并简介一种采用德州仪器公司TMS320C50DSP芯片设计的SPM仪器。该仪器已实现STM模式、接触AFM模式、非接触AFM模式,并具有和多种SPM头部接口的开放性结构。
DSP technology in our digital scanning probe microscope (SPM) was described in this paper,including DSP selection,design of SPM\|DSP card,development support tool,DSP software and basic algorithm.Our digital SPM with TMS320C50 inside can work in STM mode,contact AFM mode and non\|contact AFM mode.
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2000年第1期65-68,共4页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
