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溅射型应变计及其检测压力的应用

Sputter-type Strain Gauge and Its Application in Pressure Measurement
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摘要 本文介绍了溅射型应变计的特点、结构与制造工艺及其在检测压力上的应用。 The properties,constructure and technique of sputter-type strain gauge and its application in pressune measurement are presented.
作者 孙丽杰 彭宇
出处 《传感器技术》 CSCD 1991年第6期38-39,45,共3页 Journal of Transducer Technology
关键词 应变计 压力 检测 溅射型 Sputter
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