摘要
一、前言 利用溅射工艺使材料形成薄膜化是当前以电子装置为主的各个领域迅速发展起来的新技术之一,这是由于它利用了与体型截然不同的薄膜及其独特的性质而研制出的新产品之缘故。
出处
《传感器技术》
CSCD
1989年第3期29-33,共5页
Journal of Transducer Technology
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