摘要
1 概述 MOS气敏传感器是在含氧丰富的空气中使用的,在MOS表面存在吸附氧。温度不同,MOS表面吸附氧的形态也不同。例如,SnO_2表面的吸附氧有三种形态:常温～150℃吸脱附的α氧(O_2、O_2^-),400～500℃分解的化学吸附β氧(O^-)以及晶格中的离子氧(O^(2-)),构成升温脱附谱。 β氧的脱附将导致电导变化二个数量级;β氧与还原性气体反应,将得到还原性特强的产物,将电子释放给导带,让气体产物脱附:
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1991年第1期49-54,共6页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
