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超高多孔度多孔硅的制备和特性研究

Fabrication and property study for porous silicon with ultra-high porosity
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摘要 在〈10 0〉和〈111〉硅衬底上 ,用超临界干燥方法制备了超高多孔度的多孔硅 (多孔度大于90 % ) ,并对其光致发光和光致发光激发以及结构进行了研究 .发现光致发光峰位随多孔度增加而蓝移的数值远小于量子限制模型预期的结果 . We used supercritical drying to prepare porous silicon on〈100〉and 〈111〉Si substrate with ultra high porosity (>90%),and studied the photoluminescence(PL) and photoluminescence emission(PLE),as well as structure comparison from the porous silicon with ultra high porosity.The experimental result shows that the PL peak position does not blue shift much as the prediction from the quantum confinement model with the porosity of porous silicon increasing.
作者 马书懿
出处 《西北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2000年第4期36-41,共6页 Journal of Northwest Normal University(Natural Science)
基金 国家博士后基金资助项目!(9557) 甘肃省教委科研资助项目!(981 17)
关键词 超临界干燥 多孔硅 多孔度 光致发光 制备 特性 supercritical drying porous silicon porosity photoluminescence
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献15

  • 1张树霖,1993年
  • 2鲍希茂,半导体学报,1993年,14卷
  • 3Tsai C,Appl Phys Lett,1992年,60卷,1700页
  • 4Xu Z Y,Appl Phys Lett,1992年,60卷,1375页
  • 5陈立登,科学通报,92卷,21期,194页
  • 6Xia J B
  • 7鲍希茂
  • 8林军
  • 9杨敏
  • 10张丽珠

共引文献29

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