摘要
文中比较详细地研究了采用金属有机化合物热分解 (MOD)法制备锆钛酸铅Pb(Zr0 52Ti0 4 8)O3铁电薄膜的工艺及PZT薄膜的介电性能。利用XRD分析了薄膜的结晶过程 ,制得具有钙钛矿结构的PZT薄膜 ,铂电极有利于钙钛矿相形成。薄膜的介电温谱研究结果表明 :薄膜的居里温度约为 43 0℃ (1kHz)。
In this paper,it i scarried out the research on processing of Pb(Zr 0 52 Ti 0 48 )O 3 ferroelectric film using the metallo organics decomposition(MOD)and PZT thin film's dielectric property,analyzed using XRD the process of the film crystalliration,produced the PZT film with Ca Ti ore coustruction.The Pt electrode benefits the forminng of teh Ca Ti orephare.The result of the research on the dielectric temperatar spectram shows:The currie temperatare is Ca430℃(1kHz).
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000年第7期12-14,共3页
Instrument Technique and Sensor
