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Si(113)表面的原子结构

Study of Atomic Structure on Si(113) Surface
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摘要 利用LEED研究了Si(113)表面的原子结构.清洁表面是采用离子轰击和退火方法制备的.实验发现:当温度高于600℃时表面为1×1结构,随着温度缓慢下降,表面原子结构发生1×1(?)3×1(?)3×2的可逆相变. Atomic reconstructions were studied in terms of LEED on Si(113) surface pre-pared by ion bombardment and annealing at~800℃.As lowering the temperatureof specimen, we observed the following reversible phase transitions: 1×1(?)3×1(?).
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第2期65-67,共3页 半导体学报(英文版)
关键词 原子结构 LEED 离子轰击 退火 Si(113) Surface Reconstructure Atomic Structure Phase Transition
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