摘要
本文首先简要介绍异质结双极晶体管(HBT)的结构和特点,接着评述HBT工艺技术发展现状、单元设计和目前制作的功率HBT的性能。
This paper briefly describes the structure and advantages of HBT,and then reviews the status of HBT technology development,HBT cell design and the characteristics of power HBT fabricated at present.
出处
《半导体情报》
1991年第2期1-8,17,共9页
Semiconductor Information
关键词
双极晶体管
异质结
功率放大器
Bipolar transistor
Heterojunction
Power amplifier
Semiconductor technology