电子回旋共振等离子技术被引量：1

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摘要本文介绍了电子回旋共振等离子技术的原理、特征及在半导体工艺方面的应用。

作者胡一贯

机构地区中国科学技术大学物理系

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第6期1-5,共5页 Semiconductor Technology

关键词 ECR离子源等离子技术亚微米技术

同被引文献7

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半导体技术

1991年第6期

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