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SPC技术在硅外延工艺中的应用

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摘要本文介绍了SPC技术在半导体硅外延工艺生产中的应用。统计过程控制(SPC:Statistical Process Control)技术是以数理统计为基础,对生产过程的关键工艺参数进行定量分析,得出工艺过程是否处于受控状态的结论。在硅外延工艺中通过SPC技术监控和调整工艺参数,预防了设备条件和环境条件波动造成的质量损失,同时很大程度上提升了产品的一致性和稳定性。

作者边娜

机构地区中国电子科技集团公司第四十六研究所

出处《质量探索》 2013年第1期80-82,共3页 Quality Exploration

关键词 SPC技术实时监控外延控制图

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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质量探索

2013年第1期

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