集成电路中的多层布线技术被引量：3

下载PDF

导出

摘要本文参考了国外近期一些有关资料,结合实际经验,对国外目前多层布线的几种方法以及今后发展趋势作了综合论述,同时对国内的多层布线技术的今后发展方向提出一些看法。

作者张沈军

机构地区机械电子工业部

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第2期17-23,共7页 Semiconductor Technology

关键词集成电路多层布线导电膜电介质

参考文献1

1雷鹏程.低温等离子体技术修复有机污染土壤研究进展[J].石油化工建设,2020,42(4):95-99. 被引量：1
2刘娟,党民团.非平衡等离子体处理气体污染物的研究进展[J].商洛师范专科学校学报,2005,19(1):104-106.
3林小英.等离子体技术在固体废弃物处理中的应用[J].能源与环境,2005(1):46-48. 被引量：4
4姜东峰,范国梁,宋崇林,黄齐飞,侯岩峰.介质阻挡放电低温等离子体对柴油机排放物的影响[J].燃烧科学与技术,2005,11(2):131-136. 被引量：4
5林小英,李玉林.等离子体技术在固体废弃物处理中的应用[J].资源调查与环境,2005,26(2):128-131. 被引量：11
6夏彦水,杨建忠,卫建峰.低温等离子体对纺织品的表面改性研究[J].广西纺织科技,2005,34(2):24-26. 被引量：9
7林麒,任庆磊.常压空气辉光放电等离子体光辐射特性试验[J].厦门大学学报（自然科学版）,2005,44(5):621-624. 被引量：7
8熊明辉,王定勇,陈玉成.等离子体技术处理环境污染物进展[J].云南环境科学,2006,25(3):23-25. 被引量：3
9陈世和,麻胜荣,邹文洁.等离子技术在矿山中的应用[J].铀矿冶,2006,25(4):173-176. 被引量：13
10陈世和,麻胜荣,邹文洁.应用低温等离子体破碎岩石[J].核技术,2006,29(11):877-880. 被引量：4

半导体技术

1991年第2期

内容加载中请稍等...