硅上异质外延材料和器件的研究动向被引量：2

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摘要本文分别介绍了GaAs/Si、PTCDA/Si和YBCO/Si这三种以硅为基体异质材料的结构、特点、需解决的问题及其在半导体器件制备中的应用,同时也指出了它们今后的发展方向。

作者宋登元

机构地区河北大学电子系

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第1期15-19,7,共6页 Semiconductor Technology

关键词硅异质处延材料 GAAS/SI 器件

同被引文献1

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半导体技术

1991年第1期

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