期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

LPCVD制备SIPOS薄膜淀积工艺的研究 被引量：3

Study of the deposition process of the SIPOS thin film prepared by LPCVD
在线阅读 下载PDF
导出
摘要 SIPOS薄膜的含氧量是一个非常重要的工艺参数 .文中研究了用LPCVD法制备SIPOS薄膜的各种特性参数与含氧量的变化关系 ,提出了SIPOS薄膜生长的最佳工艺条件 .为SIPOS薄膜钝化技术的实用化奠定了基础 . The oxygen content of the SIPOS thin film is a very improtant process parameter. The relation between the characteristic parameters and the oxygen content of the SIPOS thin film prepared by LPCVD is investigated in this paper, and the best process conditions of the SIPOS thin film are obtained. This paper lays the foundation for the practical application of the SIPOS film passivation technology.
作者 刘红侠 郝跃 朱秉升
机构地区 西安电子科技大学微电子所 西安交通大学电子工程系
出处 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期309-311,共3页 Journal of Xidian University
基金 "八五"国家科技攻关资助项目!(8570 30 1 0 6)
关键词 掺氧半绝缘多晶硅 LPCVD 薄膜淀积 SIPOS LPCVD oxygen content
分类号 TN305.055 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献

参考文献16

二级参考文献65

  • 1高旭,许传亮,陈策,高小峰,王林辉,孙颖浩.输尿管镜下钬激光碎石术后重症感染诊治体会(附专家点评)[J].中华泌尿外科杂志,2005,26(1):33-35. 被引量：208
  • 2陶仲为.感染性休克的临床诊治[J].中国实用内科杂志,2006,26(2):180-182. 被引量：14
  • 3樊寻梅.儿科感染性休克(脓毒性休克)诊疗推荐方案[J].中华儿科杂志,2006,44(8):596-598. 被引量：208
  • 4成人严重感染与感染性休克血流动力学监测与支持指南[J].中华内科杂志,2007,46(4):344-349. 被引量：93
  • 5Marcelo Park, Luciano Cesar Pontes Azevedo, Alexandre Tnledo, et al. Evolutive standard base excess and serum lactate level in severe sepsis and septic shock patients resuscitated with early goal-directed therapy: still outcome markers? [J].Clinics,2006 (61):47-52.
  • 6Carcillo, Joseph A, Davis, et al. Role of early fluid resuscitation in pediatric septic shock[J]. JAMA, 1991,266(9):1242-1245.
  • 7Vincent JL. Hemodynamic support in septic shock[J]. Int Care, Med, 2001,27 (suppl 1):80-92.
  • 8Rackow EC, Falk JL, Fein IA, et al. Fluid resuscitation in circulatory shock : A comparison of the cardiore,spiratory effects of albumin, hetastarch, and saline solutions in patients with hypovolemic and septic shock [J], Crit Care Med, 1983, 11(11): 839-850.
  • 9Hudson LD, Milberg JA, Anard D, el al. Clinical risks for development of the acute respiratory distress syndrome[J]. Am J Respir Crit Care Med, 1995,151(2 Pt 1)1293-1301.
  • 10Schortgen F, Lacherade JC, Bruneel F, et al. Effects of hydroxyethyls/arch and gelatin on renal function in severe sepsis: a muhicentre randomized study [J]. Lancet, 2001,357 (9260): 911-916.

共引文献155

同被引文献8

引证文献3

二级引证文献7

西安电子科技大学学报
2000年 第3期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部