摘要
原子力显微镜(Atomic Force Microscope,以下简称AFM)是近年来发展起来的一种新型表面分析仪器。它通过监测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间作用力来研究物质的表面结构。这种具有原子级分辨率的仪器弥补了前几年发展起来的扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope,以下简称STM)只能研究导体和半导体的不足,可用于导体、半导体和非导体材料表面的结构研究,因而在表面科学、材料科学和生命科学等领域的研究中有其特殊的重要意义。
出处
《中国科学院院刊》
1990年第4期340-343,共4页
Bulletin of Chinese Academy of Sciences
