摘要
基于激光冷却和捕获原子的原理 ,初步探讨了利用原子进行纳米量级图形制作的基本原理和实验研究。研究结果表明 ,此技术可实现分辨率高达几个纳米大小的超微细图形制作 ,制作效率极高。
The principle and experiment of fabricating Nanometer patterns are studied primarily based on the principle of laser cooling and trapping atoms. The results show that the technology can realize super finest patterns of several nanometers and the fabricating efficiency is very high.
出处
《微细加工技术》
EI
2000年第1期51-54,共4页
Microfabrication Technology
基金
国家自然科学基金!(6 9876 0 4 1)
中科院创新基金
微细加工光学技术国家重点实验室开放基金
关键词
纳米图形
激光准直
激光捕获
Nanometer patterns
Laser collimation
Laser trapping
