摘要
本文提出了单模光纤探针式光学轮廓仪的构成及工作原理 ,重点分析了光纤探针的基本理论 ,导出了理想状态下光纤探针与被测表面的耦合效率 ,分析了光纤探针扫描时表面轮廓对耦合效率的调制原理。给出了单模光纤探针探头的基本结构。在实验中用单模光纤探针式光学轮廓仪实验装置进行了测试 ,给出了实验结果和误差分析 。
The structure and principle of optical profilometer with single mode fiber probe is presented in this paper.The fundamental theory,such as couple efficiency,surface profile modulation and the structure of a single mode fiber probe with detection of reference light is developed in details.Also, the roughness measuring experiments and results is discussed in this paper.
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第1期104-107,共4页
Chinese Journal of Scientific Instrument
基金
国家自然科学基金资助项目! (No592 750 65)
关键词
光纤探针
粗糙度测量
光学轮廓仪
Fiber probe Surface profile modulation Roughness measurement
