磁控溅射镀氮化钛工艺分析被引量：4

Process Analysis of TiN Coated by Magnetron Sputtering

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摘要本文从工厂应用的角度着重讨论磁控溅射镀膜机镀氮化钛装饰膜的工艺问题。 With the view of the application in factory, the process of TiN decorative coating coated by magnetron sputtering coater is emphatically discussed in this paper.

作者费跃

机构地区江苏省武进县第二玻璃钢厂

出处《真空》 CAS 北大核心 1990年第4期52-57,共6页 Vacuum

关键词磁控溅射镀膜氮化钛工艺

分类号 TN305.92 [电子电信—物理电子学]

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真空

1990年第4期

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