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超精密加工机床的关键部件技术 被引量:20

Technique for Key Components of Machine Tool for Ultra precision Machining
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摘要 论述了亚微米级超精密加工机床的主轴、直线导轨、进给与微量进给、隔振与恒温等关键元部件的设计原理、实施方案,及其在HCM-Ⅰ超精密加工机床中的应用。 s:The article discusses the designing principle and pratical solution of key components such as spindle, linear guideway,feeding and micro feeding, vibrating isolation and thermostation components of ultra precision machining tool with accuracy of submicron, and their application in HCM Ⅰ ultraprecision machining machine tool.
作者 盖玉先 董申
机构地区 哈尔滨工业大学
出处 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2000年第1期7-10,共4页 Manufacturing Technology & Machine Tool
关键词 超精密加工 机床 部件 加工精度 主轴 直线导轨 Ultraprecision Machining, Machine Tool, Component
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参考文献1

  • 1何雅全,超精密加工技术国防科技重点实验室,1995年

同被引文献142

引证文献20

二级引证文献78

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