SnO_2/Fe_2O_3多层结构薄膜型气敏元件的研究被引量：3

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摘要本文报导了采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备 SnO_2/Fe_2O_3多层薄膜气体敏感材料及敏感元件的性质。所研制的多层薄膜在保持对乙醇有较高的灵敏度及较好的响应恢复时间的同时,其稳定件较单层膜有明显地改善。乙醇和汽油的分离倍数达10左右,对其它气体分离倍数更高。研究表明所制备的 SnO_2/Fe_2O_3薄膜材料可用于开发新型气敏元件。

作者马晓翠阎大卫戴国瑞邹慧珠

机构地区吉林大学电子科学系

出处《仪表材料》 EI CAS CSCD 1990年第3期159-163,共5页

关键词多层薄膜 SnO_2 Fe_2O_3 气敏元件

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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