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真空灭弧室真空度在线监测传感器的研究 被引量:5

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摘要 通过理论分析和模拟实验研究,提出了一种适合真空灭弧室真空度在线监测用的以半导体压力敏感元件为基础的真空度传感器.
出处 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 1999年第6期28-31,共4页 High Voltage Apparatus
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