金刚石薄膜的选择性生长被引量：4

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摘要本文提出了一种利用表面处理状态的差异进行选择性生长,制备多晶金刚石薄膜图形的新方法,得到的薄膜线条宽约8μm,晶粒堆砌致密,大都显露三角形(111)面,其金刚石结构得到了拉曼光谱的确认。

作者张志明李胜华张冬喜庄志诚林栋梁

机构地区上海交通大学

出处《微细加工技术》 1990年第2期14-15,18,共3页 Microfabrication Technology

基金国家高科技和上海市自然科学基金

关键词金刚石薄膜生长选择性

分类号 TN304.18 [电子电信—物理电子学]

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