激光CVD

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摘要光CVD作为薄膜气象合成方法之一和热CVD、等离子CVD同样在薄膜生长技术中占有重要位置,近年来,由于准分子激光技术的发展,准分子激光CVD技术适应半导体工艺低温化和加工精细化的要求也迅速地发展起来。本文主要以准分子激光为重点介绍激光CVD的基本原理、目前发展概况及今后的研究课题与展望。

作者张玉书张庆有丁涛

机构地区吉林大学

出处《微细加工技术》 1990年第1期26-28,共3页 Microfabrication Technology

关键词激光CVD 薄膜气象合成法

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微细加工技术

1990年第1期

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