摘要
57Fe＋和N2＋双离子注入Cu衬底中，在室温时形成了NaCl结构的FeNx，x约在0．63-0．65间。退火过程中发现，由于氮的存在，氮原子影响了α－Fe的体扩散温度，分解的α—Fe可重新聚集在含N的原子组团中，形成新的α—Fe颗粒，其分解温度可高于600℃。
The thermodynamic process of 57Fe+ and N2+ ions coimplantion in Cu wasstudied by CEMS. The Fe nitride with NaCl structure was found. The bulk diffusiontemperature of a -Fe in Cu was influenced by N, the nitrogen can play a role intrapping and futher stabilizing a new a phase of the dissociated iron.
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第8期464-468,共5页
Nuclear Techniques
基金
国家自然科学基金
关键词
离子注入
铁氮化合物
铜衬底
穆斯堡尔谱
Ion implantation, Iron nitride, Bulk diffusion temperature of a -Fe,CEMS
