摘要
在非接触式的激光切割焦点位置检测与控制系统中，切割加工中产生的等离子体对电容传感器产生干扰，从而导致焦点位置检测误差。本文根据电容原理定量地分析了等离子体对电容传感器干扰产生的误差，进而提出了消除等离子体于扰的措施。
In non-contact laser beam focus position detecting and control system, plasma cloud,which is induced by laser beam in cutting, will greatly interfere the capacitive transducer,thus result in focus position detecting error. Based on capacitive theory, this paper quantificationally analyzes the error,then bring forward means to avoid plasma's influence.
出处
《机械与电子》
1999年第3期33-35,共3页
Machinery & Electronics
基金
国家自然科学基金
国防科工委自然科学基金
