直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜被引量：1

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摘要金刚石是一种性能非常优异的功能材料。近年来在低压下由气相沉积合成金刚石薄膜的研究引起了很多国家和科学技术工作者的兴趣。我们设计的低压直流电弧等离子体喷射装置制备出的金刚石薄膜有较高的沉积速度,结构良好。

作者阎震李荣志朱鹤孙

机构地区北京理工大学材料科学研究中心

出处《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 1989年第3期18-18,共1页 Transactions of Beijing Institute of Technology

关键词金刚石薄膜电弧等离子体喷射法

同被引文献22

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北京理工大学学报

1989年第3期

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