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用于等离子体喷射金钢石膜设备的循环水冷却系统 被引量：1

A COOLING WATER CYCLE SYSTEM USED IN THE EQUIPMENT OF DC PLASMA JET CVD DIAMOND
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摘要 本文论述了用于等离子体喷射金钢石膜设备的循环水冷却系统的特点和基本原理，给出了系统的有关参数和使用结果。 This paper introduces the cooling water cycle system,which is used in the equipment of DC plasma jet CVD diamond film.The features and basic principles of the system are discussed and the design parameters are analyzed.
作者 臧建民 孙振路 郭辉 吴晓波
机构地区 河北省科学院激光研究所 河北省机电一体化中试基地
出处 《河北省科学院学报》 CAS 1999年第1期1-3,共3页 Journal of The Hebei Academy of Sciences
关键词 金刚石膜 循环水冷却系统 制冷机 等离子体喷射 Diamond films,Cooling water,Cycle system
分类号 TB43 [一般工业技术] O484.1 [理学—固体物理]
  • 相关文献

参考文献2

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  • 2李惠其.大面积高速金钢石膜生长DC plasma jet设备与沉积工艺研究：博士学位论文[M].,1994..

同被引文献5

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  • 3钟国仿.[D].北京:北京科技大学,1998.
  • 4臧建民,潘存海,唐才先,杜素梅,罗廷礼,张永贵,康增江,石尔平,王少岩,孙振路,郭辉,崔文秀,李国华,王志娜,吴晓波,臧怀壮,钟国仿,王豪,唐伟忠,吕反修.廉价制备大面积金刚石膜的高功率直流等离子体喷射设备的研制[J].河北省科学院学报,1997,14(1):6-8. 被引量：3
  • 5李惠琪,吕反修,杨让,钟国防.大口径等离子炬与金刚石沉积工艺研究[J].表面技术,1993,22(5):205-209. 被引量：4

引证文献1

河北省科学院学报
1999年 第1期

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