CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统被引量：5

The Computer Control System for Single Crystal Growing with a Constant Diameter in CZ Crystal Growing Furnace

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摘要介绍了ＣＺ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统的硬件结构和软件设计原理。 This paper describes the computer control system for single crystal growing with a constant diameter in CZ crystal growing furnace, and introduces the design principle of hardware and software.

作者刘曙光李润源

机构地区西北纺织工学院西安理工大学

出处《机电工程》 CAS 1999年第2期17-19,共3页 Journal of Mechanical & Electrical Engineering

关键词单晶等径生长 CZ单晶炉计算机控制系统 Single crystal Growth Control

分类号 O781 [理学—晶体学]

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机电工程

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