基体表面对大体积微波等离子体中离子浓度的影响
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3雷明凯,袁力江,张仲麟.等离子体源增强磁控溅射沉积Al_2O_3薄膜研究[J].无机材料学报,2002,17(4):887-890. 被引量：9
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5王仲,张贵新,刘程,贾志东.Spectroscopic Diagnostics of Atmospheric Argon Microwave Plasma Based on an Inductive Coupling Window-Rectangular Resonator[J].Chinese Physics Letters,2014,31(5):93-96.
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9张田田,马志斌,黄宏伟,王传新,付秋明,汪建华.基于波导耦合反应腔串联的线形微波等离子体源[J].真空科学与技术学报,2016,36(8):906-909. 被引量：1
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10苏小保,邬钦崇,万元熙.用于大面积材料表面改性研究的微波等离子体源[J].真空科学与技术,1998,18(4):289-293.
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