电子回旋共振放电的设计和应用

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摘要在过去十年，电子回旋共振等离子体加工技术已发展了各种ＥＣＲ等离子体反应器和等离子体源设计概念，并已广泛地应用于许多低压强等离子体加工领域。本文评述近几年在ＥＣＲ等离子体技术的设计和应用方面所取得的重大进展。详细地介绍从４５０ｃｍ＾２在大嗾电到装入分子束外延装置的五种有代表性的ＥＣＲ反应器／源的设计。

作者 Asmus.,J 秋笛

出处《国外核聚变与等离子体应用》 1999年第1期53-78,共26页

关键词 ECR 微波放电高密度等离子体源等离子体加工

分类号 O531 [理学—等离子体物理] TL629.1 [核科学技术—核技术及应用]

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国外核聚变与等离子体应用

1999年第1期

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