SIMOX材料的SIMS分析

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摘要对ＳＩＭＯＸ材料进行了ＳＩＭＳ深度剖析，研究了电荷积累效应、二次离子传输效率等实验因素对测试结果的影响，氧检测的动态范围达三个量级。对国内、外的ＳＩＭＯＸ材料做了对比研究。

作者马农农刘容

机构地区天津电子材料研究所

出处《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第A12期130-132,共3页 Vacuum Science and Technology

关键词二次离子质谱注氧隔离深度剖析硅 SOI材料

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真空科学与技术

1998年第A12期

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