微热板式传感器自动测控系统的研究

The research on the monitoring and control system of sensors with micro-hot plate

下载PDF

导出

摘要本文介绍微热板式微气压传感器的工作原理,及基本的特性。同时从影响传感器测试的因素出发,介绍微热板式微气压传感器的方案,及由此采取的测试系统控制策略。将模糊控制理论应用于真空控制,设计了模糊控制器,建立微热板式微气压传感器的自动测控系统,为开展传感器的性能测试提供良好的实验平台。

作者宋来

机构地区辽宁信息职业技术学院

出处《制造业自动化》北大核心 2010年第4期89-91,99,共4页 Manufacturing Automation

关键词传感器测控系统模糊PID控制

参考文献6

1余隽,唐祯安,陈正豪,魏广芬,王立鼎,闫桂贞.基于硅微加工工艺的微热板传热分析[J].Journal of Semiconductors,2005,26(1):192-196. 被引量：10
2Tsamis C,Nassiopoulou A G,Tserepi A.Thermal properties of suspended porous silicon micro-hotplates for sensor applications.Sensors and Actuators B,2003,95:78-82.
3Puers R,Reyntjens S,Bruyker D D.The NanoPirani-an ex tremely miniaturized pressure sensor fabricated by focused ion beam rapid prototyping.Sensor and Actuators A,2002:208-214.
4"fang" hA,Fung S K FI,Wong D T W,et al.An integrated gas sensor based on tin oxide thin-film and improved microhotplate.Sensors and Actuators B,1998,46:174-179.
5Chan C H,Yan h Z,Sheng L Y et al.An integrated gas sensor technology using surface micro-machining.The 14t.h IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems,MEMS 2001.Tnterlaken,Switzerland,2001:543-54ti.
6张维新,毛赣如,曲宏伟,姚素英,李建文.新型集成压力传感器的研究[J].Journal of Semiconductors,1996,17(6):435-439. 被引量：3

1韩茂华梁新刚.热辐射的微尺度效应对微结构气敏传感器的影响[J].上海理工大学学报,2003,25:45-45.
2Semancik S,Cavicchi R E,Wheeler M C,et al.Microhotplate platforms for chemical sensor research.Sensors and Actuators B,2001,77:579.?A?A
3Denlinger D W,Abarra E N,Allen K,et al.Thin film microcalorimeter for heat capacity measurements from 1.5 to 800K.Rev Sci Instrum,1994,65(4):946.
4Robinson A M,Haswell P,Lawson R P W.A thermal conductivity microstructural pressure sensor fabricated in standard complementary metal-oxide semiconductor.Rev Sci Instrum,1992,63(3):2026.
5Tang Zhen'an,Li Xikui,Cheng Gengdong,et al.State of the art in microhotplate.International Journal of Nonlinear Science and Numerical Simulation,2000,1:355.
6Yu Jun,Tang Zhen'an,Wei Guangfen,et al.Measurement of heat capacity of SnO2 thin films using micro-hotplate.Proceedings of SPIE:Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices,2001,4601:181.
7Zhang M,Effremov M Y,Schiettekatte F,et al.Size-dependent melting point depression of nanostructures:nanocalorimetric measurements.Phys Rev B,2000,62(15):10548.
8Weng P K,Shie J S.Micro pirani vacuum gauge.Rev Sci Instrum,1994,65(2):492.
9Chan P C H ,Yan Guizhen,Sheng Lieyi,et al.An integrated gas sensor technology using surface micro-machining.Sensors and Actuators B,2002,82:277.
10Shackelford J F,Alexander W.Materials science and engineering handbook.Boca Raton,Florida:CRC Press,2001.

1张凤田,唐祯安,余隽,金仁成,高仁璟,江胜峰.微热板式低气压传感器的研制[J].Journal of Semiconductors,2005,26(7):1412-1417. 被引量：3
2余隽,唐祯安,张凤田,魏广芬,王立鼎.微桥量热计测量铝薄膜热容[J].大连理工大学学报,2006,46(5):752-755. 被引量：1
3余隽,唐祯安,黄正兴,陈正豪.微热板阵列的热干扰[J].Journal of Semiconductors,2008,29(8):1581-1584. 被引量：3
4吴涛.微热板式传感器自动测控系统的研究[J].煤炭技术,2010,29(8):50-51.
5刘凯强,余隽,唐祯安.硅微热板气体传感器应力调节系统设计与仿真[J].仪表技术与传感器,2015(12):4-7. 被引量：1
6李美花,闫卫平,王颖,朱慧超,唐祯安,付强,赵阳.微传感器阵列多通道数据采集和处理系统[J].电子测量与仪器学报,2016,30(2):311-317. 被引量：41
7关经纬,黄正兴,唐祯安.微热板中微纳空气间隙传热特性研究[J].传感器与微系统,2016,35(5):9-12.
8李中洲,余隽,周君伟,耿万鑫,唐祯安.用于气体传感器的微热板工艺流程与性能对比[J].仪表技术与传感器,2018(1):17-20. 被引量：11
9刘妮,舒震,隋然,王涛,曹振芳.基于MEMS技术的甲烷催化燃烧传感器研究进展[J].煤炭与化工,2022,45(11):131-135. 被引量：4

1王锁平,牛仁杰,范多旺.SMS在真空控制系统维护中的应用[J].微计算机信息,2008,24(13):44-45.
2自动控制、自动控制设备及系统[J].电子科技文摘,2002,0(7):168-172.
3詹来龙,王彦瑜,郭玉辉,王晓银,朱海君,乔卫民.HIRFL-CSR真空控制系统的设计及其应用[J].微计算机信息,2005,21(5):44-45. 被引量：4
4詹来龙,王彦瑜,黄继江,蒙峻,郭玉辉,苟世哲,乔卫民,杨晓天,侯明东.基于ARM、CPLD和MCU的冷却储存环真空控制系统设计[J].原子能科学技术,2007,41(5):591-594. 被引量：5
5郑军.PID算法在冻干机真空控制系统中的应用[J].机电信息,2011(17):52-54.
6李刚,赵籍九,陈伯飞,王克祥,江波,戴明辉.BEPCⅡ储存环真空控制系统[J].原子能科学技术,2010,44(4):504-507. 被引量：7
7Rsca Radu Carlescu Petru Tenu loan.Using a Computer Driven PID Regulator for Controlling the Vacuum Pump of a Mechanical Milking Machine[J].Computer Technology and Application,2013,4(8):395-399.
8孙小影,陈广花,刘以勇,陈建锋,蒋迪奎,戴志敏.上海光源储存环真空数据检索系统[J].核技术,2010,33(9):645-648. 被引量：1
9苟世哲,王永平,王彦瑜,乔为民.应用于HIRFL-CSR分布式真空控制系统的故障转移技术[J].核电子学与探测技术,2009,29(5):1021-1024.
10吕凤年,张臻,尹宪华.神光Ⅱ升级装置PLC真空控制系统的设计[J].数字技术与应用,2013,31(9):14-14.

制造业自动化

2010年第4期

内容加载中请稍等...